2024.10.17 マンションで半導体製造も　超小型ウエハー使う「ミニマルファブ」　多品種少量で参入後押し

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中央の赤い機器が局所クリーン搬送技術による「シャトル」

中央の赤い機器が局所クリーン搬送技術による「シャトル」

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ミニマルファブで使う12.5ミリメートルのシリコンウエハー
ミニマルファブの半導体製造装置
中央の赤い機器が局所クリーン搬送技術による「シャトル」
局所クリーン搬送技術を搭載した装置のデモ展示
ウエハーをクリーンなまま装置間で搬送できる

来場者でにぎわうブース

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