パネルレベル塗布装置「TRENG-PLPコーター」
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TRENGがパネルレベル塗布装置を開発 先端パッケージ向け 高い膜厚精度、反り対応実現
CO₂レーザーで加工できるガラス基板、日本電気硝子が開発に着手 次世代半導体製造を大幅に高効率化
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東レ、シリコンフォトニクス用光半導体の高速実装技術を開発 転写・キャッチ材料も
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