2025.03.05 住友化学、先端半導体用フォトレジストの評価設備を拡充　前工程・後工程向け開発強化

　住友化学は、大阪工場（大阪市此花区）で、液浸ArF（フッ化アルゴン）や厚膜i線など、先端半導体プロセス向けフォトレジストの新製品開発および量産評価体制を強化するため、新たに先端前工程、先端後工程用の開発・品質評価設備を増強・導入する。これらの新設備は、2025年度から26年度上期にかけて順次稼働を予定しており、先端半導体メーカーからの受注拡大を目指す。

　フォトレジストは、半導体製造プロセスの回路パターン形成に使用される感光性...　　(つづく)