2025.03.06 セントラル硝子、ArF液浸レジストのPFASフリー化加速　imecと共同開発・製品化めざす

　セントラル硝子は、環境に配慮した製品の開発に注力してきたが、このほどArF液浸レジスト材料の光酸発生剤およびはっ水ポリマーのPFASフリー化に成功した。今後はこれらの技術を生かした「PFASフリーArF液浸レジスト」の開発・製品化を目指していく。

　開発に当たっては、半導体プロセス分野の世界的な研究機関imecと、2024年10月に共同開発契約を締結した。このパートナーシップによってPFASフリーArF液浸レジストの開発を今後...　　(つづく)