パートナーと連携　持続可能な生産体制を構築

今夏に新開発棟、新技術開発に力

　半導体産業の投資拡大を背景に、急成長を遂げる熊本県。昨年末からJASMの稼働が開始し、熊本を中心とした半導体サプライチェ-ンは熱を帯びる。県内にある半導体関連企業の工場を取材し、7回の連載企画として紹介する。

　東京エレクトロン（TEL）の熊本製造拠点である東京エレクトロン九州（熊本県合志市）は、付加価値の高い半導体製造装置の開発・製造を通じて、半導体の進化を支えている。

　今年夏には新開発棟の竣工（しゅんこう）を予定しており、半導体の高度化、環境負荷低減につながる新たな技術開発を加速させる。

　東京エレクトロン九州は、世界シェア90％（同社調べ）を誇るコーター／デベロッパーをはじめ、洗浄装置、3DI（3次元実装）関連装置などの開発・製造を行っている。社員数は約2200人、阿蘇くまもと空港からは約10キロメートル、車で約20分、九州自動車道の北熊本SICからは約15キロメートル、約30分とアクセス性に優れている。

　工場敷地内には管理部門...　　(つづく)