2025.07.29 英インフィニテシマが蘭imec、ASMLと協力 最先端半導体研究開発に参画
imecに設置される「Metron3D」
英国の半導体測定器メーカー、インフィニテシマは、オランダの公的先端半導体研究機関imec(アイメック)と装置メーカーのASMLが共同で行うオランダの最先端半導体開発研究チームに参画することになった。将来の半導体製造過程に必要な3Dプロセス制御が可能な300ミリ対応のインライン・ウエハー計測システムを持ち込み、最先端半導体開発に協力する。共同開発期間は3年間。
インフィニテシマは半導体分野の測定システム専門メーカー。3D技術を... (つづく)