2020.10.23 「MLE」搭載マスクレス露光システム発表オーストリアのEVグループ
LITHOSCALE
オーストリアの半導体製造装置メーカー、EVグループはこのほど、同社のマスクレス露光技術である「MLE」を搭載した世界初の量産プラットフォームとして、「LITHOSCALE」マスクレス露光システムを発表した。
同システムは先端パッケージングやMEMS、バイオメディカル、IC基板の製造など、高い柔軟性と多品種が求められる市場および用途向けリソグラフィプロセスのために開発された。
露光フィールドに制限されない... (つづく)
