2020.11.03 ディスコ 全自動でチップ品質管理効率的で精度の高い測定
ダイシング後のチップ品質管理を全自動で実現する「DIS100」
ディスコは、ダイシング後のウエハーからチップをピックアップし、厚さ・チッピング測定、裏面粗さ測定、抗折強度測定（破壊検査）を全自動で実施する装置DIS100を開発した。従来は手作業で実施していた工程を自動化することで、効率的で精度の高い測定を実現する。
測定データは記録できるため、車載向けデバイスの品質監査時に求められるトレーサビリティ向上などに寄与する。
電気自動車の普及で需要が増加している車載向けデ... (つづく)
