2021.01.18 東京エレクトロン 超臨界乾燥専用チャンバ搭載枚葉洗浄装置を販売開始
枚葉洗浄装置「CELLESTA SCD」
東京エレクトロンは、枚葉洗浄装置「CELLESTA SCD」の販売を1月から開始する。枚葉洗浄装置の「CELLESTAシリーズ」は、半導体製造プロセスの洗浄工程に幅広く採用されている。
新たに販売開始するCELLESTA SCDは、量産実績のあるCELLESTAのプラットフォームに超臨界乾燥専用チャンバを搭載した。
洗浄工程における乾燥プロセスでは、以前から表面張力の低いアルコールを用いた乾燥技術が採用... (つづく)
