2022.01.12 【計測器総合特集】半導体製造プロセス各所の「計測」計測・分析機器で精度維持、純水・ウエハー・成膜工程に導入
半導体製造 プロセス各所の「計測」
昨年来、顕在化した半導体の世界的な需給の逼迫（ひっぱく）状況は、長期化の気配だ。自動車をはじめとして産業のさまざまな分野で広範囲の部材不足を招き、調達難、納期遅延、受注残の積み増しなど大きな影響をもたらしている。
半導体の重要性は増す一方だが、チップ精度の維持には、各種検査工程、信頼性試験以外でも、製造時の管理に多様な計測・分析機器が導入され、各製造プロセスを支える。
半導体製造にはウエハーの洗浄や薬品... (つづく)
