2022.06.15 【JPCA Show/JISSO PROTEC特集】クラボウ汎用性高い基板外観検査装置展示

BBMaster-1100V

 クラボウは、半導体産業の材料・準備工程から生産・検査工程まで、トータルでユーザーニーズに対応できるのが強みだ。

 スーパーエンプラフィルム製膜技術による高耐熱、高透明性を有するPEEKフィルムや、独自技術をベースに基板上の微細な傷・汚れなどを高精度に検出する基板外観検査装置、撹拌(かくはん)棒・羽根を使用しない遊星式撹拌脱泡装置、フッ素樹脂フィルターや金属イオンを化学的に捕捉する機能を不織布に付与した微量金属除去フィルターなど、先進技術を結集した高度な製品群を有する。

 今回は半導体やエレクトロニクス業界向けに、販売実績も豊富な基板外観検査装置を展示する。

 汎用(はんよう)性が高く、幅広い検査工程の問題を解決する基板外観検査装置「BBMaster-1100V」は、高精度カラーモノクロ一体型ラインカメラでパッケージ・モジュールをはじめとする基板を撮像。あらかじめ登録した良品基準画像との多様な照合で配線パターン部、基材の欠陥を高速かつ細密に検査する。複数の反射画像を同時に取得でき、追加目視検査などの二度手間を防ぐ。

 シリーズの中では小型でリーズナブルな価格で展開しており、開発、試作の少量生産の国内向けに最適だ。

 手動機だけではなく、両面自動機の「BBMaster-8800」など幅広くラインアップしている。