2022.10.07 韓国SKハイニックスがネオンガスを国産化 地政学リスクに対応
【ソウル支局】韓国のSKハイニックスは、半導体で不可欠なネオンガスの製造技術を国産化したと発表した。
フォトリソグラフィーやエッチング工程で使用されるさまざまなガスについて、輸入に代わって国産で調達する道を開いた。
ネオンガスは、エキシマレーザーの光を生成するための主要な基材で、シリコンウエハーに回路パターンを描画するため、エキシマレーザー装置で広く使用されている。ヘリウムなどレーザー光を生成するために... (つづく)
