半導体製造装置のSCREENセミコンダクターソリューションズ（以下SCREEN SPE）は9日、ベルギーの半導体技術開発機関imec（アイメック）とサステナブル（持続可能な）半導体技術開発を推進するための共同開発契約を締結した。

　京都市内で行われた調印式にはSCREEN SPEの後藤正人社長とアイメックのルク・ファンデンホーブCEOが出席した。

　両社は02年から共同開発を継続実施しているが、今回はSCREEN SPEがウエハー洗浄技術をはじめとした専門的知見、アイメックは所有する先端半導体技術を持ち寄り、持続可能な社会に貢献する技術開発を推進していく。

　SCREEN SPEは今年5月、アイメックが進める半導体業界全体の環境負荷低減に関する新らたな研究プログラム「SSTS」にも参画、同プログラム推進をサポートしてきた。

　今回の提携拡大は、幅広い開発プログラムを持つアイメックと、洗浄装置などの半導体製造装置のコンセプトや実現可能性を検証して、プロセス開発を加速化させる。

　SCREEN SPEは23年には300ミリウエハー対応の枚葉式洗浄装置「SU‐3200」をアイメックに納入し、技術者を派遣するなど、アイメックと共同評価を行う。