2022.12.16 レーザーテックが高感度の内部欠陥検査／レビュー装置、高積層化プロセスに対応

CIRIUSシリーズ

　レーザーテックは、高感度内部欠陥検査／レビュー装置「CIRIUS」シリーズを発表した。デバイスメーカーの先端半導体プロセスにおける多様なニーズに対応し、製造プロセスの品質改善、歩留まりを向上する。

　新製品は、高集積化が進むメモリーなどで課題となっているデバイス内部の欠陥を高感度に検査・レビューできる装置。独自の光学技術により、内部欠陥の検査だけでなく、深さ位置の特定と分類を実現した。

　これにより、デバイ...　　(つづく)