2022.12.30 クラボウが半導体向け製品各種を提案、薬液濃度計や後工程向けフィルム

液体成分濃度計「ケミカライザー」

　クラボウは、半導体製造プロセス向けに、微細化などの技術進化を支えるソリューションを提案している。

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薬液濃度計

　半導体製造工程では多様な薬液を使う。液体成分濃度計「ケミカライザー」は、主にバッチ洗浄に用いる薬液濃度をインライン測定できる。最大3成分に対応し、最短2秒で同時測定が可能だ。

　In-Situセンシングデバイスは、枚葉洗浄に用いる薬液の状態や温度の情...　　(つづく)