2023.04.19 アルバック、真空計で操作性能を向上 成膜コントローラーは新方式
SW100
アルバックは、半導体をはじめとした多様なアプリケーション向け計測器をそろえる。昨年発表した2製品は従来機種に新たな機能を盛り込むことで、計測のしやすさを大幅に改良した。
真空計は機器内の気体を真空ポンプで排気して真空度を測る。
気体の熱伝導を利用するピラニ真空計は、最も汎用（はんよう）性の高い真空計の一つ。低真空～中真空領域の圧力を測定し、適用範囲は広い。
「SW100」は、年間2... (つづく)
