超高圧コリオリ流量計を提案

　オーバルは、質量を直接連続的に測定する質量流量計である「コリオリ流量計」の多様なラインアップから「ALTImassⅡ 120MPa超高圧コリオリ流量計」を出展する。

　最高使用圧力120MPaで、燃料電池車（FCV）や水素ステーションの普及に向け、高まる高圧化のニーズに対応する。

　適用流体は液体・気体で、2.4～300kg／hの広い流量範囲を、低い圧力損失で高精度に計測できるのが特長だ。

　接液部に溶接箇所がなく、高圧ガスの計測に適した信頼性の高い構造。流路に分岐がないため洗浄性に優れている。質量流量以外にマイナス40～プラス130度の範囲で高精度な温度計測も可能だ。

　気体用熱式質量流量計・コントローラー「MASFLO-OVALⅡ」も紹介。流速センサーと温度センサーを備え、気体の流量を質量ベースで正確に測定・コントロールする。

　同社の熱式質量流量は計流量レンジが広く、温圧補正なしに直接質量流量を計測可能だ。省エネを達成するための管理用流量計として多くの実績がある。

　高精度・コンパクトな気体流量計「FHA」に対して、「FHB」はFHAにコントロールバルブ（電磁式）を一体化した流量コントローラー。表示器・設定器などを内蔵したリードアウトユニットと組み合わせることで簡易な流量計測／制御システムを構成できる。

　各種ガスの供給システムやガスミキシングプロセス、パイロットプラント、半導体製造プロセス、研究所などで使用されるガスの流量計測と管理に適している。

　これら非防爆モデルに対し、FHBシリーズのコントロールバルブ部を水素防爆構造としたのが「FHDシリーズ」。同様に組み合わせることで防爆形気体用質量流量コントローラーを構成できる。