2020.03.23 明電舎　成膜装置の子会社設立

4月1日に就任予定の髙田社長（左）と村井常務取締役

ALD／OER成膜装置販売

幅広い産業分野に提案

　明電舎は、100％出資の新子会社「明電ナノプロセス・イノベーション」を4月1日に設立し、新製品であるALD／OER成膜装置を販売することを発表した。

　明電舎ではこれまで、純度100％のオゾン（ピュアオゾン）を使用した常温成膜技術の研究開発を行っており、11年の製品化から累計24億円の出荷実績を持つ。　　(つづく)