2025.04.28 東京エレクトロン、宮城に新開発棟開設　「効率化で評価量は約2倍に」

新開発棟の外観（提供＝東京エレクトロン）

　東京エレクトロン（TEL）は24日、開発・製造拠点である東京エレクトロン宮城（宮城県大和町）に新開発棟「第3開発棟」を開設した。高度化・複雑化する半導体製造技術に対応する開発環境を整え、開発効率を上げることで現行の2倍以上のアウトプットを実現する。

　東京エレクトロン宮城は、ウエハー表面に形成された薄膜を削るプラズマエッチング装置の開発・製造を行う重要な拠点。新開発棟ではエッチング装置の開発および評価を行う。

<...　　(つづく)