レーザー顕微鏡を展示

業界最高レベルの基本性能

　レーザーテックは、高機能プラスチック展［大阪］に出展。業界最高レベルの基本性能と拡張性を実現したレーザー顕微鏡「OPTELICS HYBRID⁺（オプテリクス・ハイブリッドプラス）」を展示する。

　ハイブリッドプラスは、白色光とレーザー光の二つのコンフォーカル（共焦点）光学系を搭載。

　一般的な光学系の顕微鏡と比較すると圧倒的に透明体に強く、裏面の影響を受けずに表面だけの観察・測定・検査が可能。フルカラー観察ができ、広視野観察、高速測定、高精度測定は業界最高クラス。

　二つの光学系をベースに▽微分干渉観察（ナノレベルの傷や異物の可視化）▽垂直式白色干渉測定（ミリレベルの広視野でナノレベルの形状測定）▽位相シフト干渉測定（オングストロームレベルの形状測定）▽反射分光膜厚測定（ナノレベルの透明膜厚測定）―の機能を1台に集約した。

　自動化への対応として自動測定／検査用のソフトウエアを充実させた。自動検査ソフト「LMInspect」は、ディープラーニングシステム「LMBrain（LMブレイン）」との組み合わせにより、繰り返しパターンやランダムパターンなどの難易度の高いサンプルの欠陥検出、高精度な欠陥分類が可能となる。

　コンフォーカル顕微鏡自動検査／レビュー装置「OPTELICS AI²」も紹介する。この装置は自動欠陥検査から、高倍率欠陥レビュー、3次元形状測定までをシームレスに1台で対応可能。研究開発から量産までのあらゆるシーンで活用できる。

　追従式AF（オートフォーカス）搭載ステージスキャン方式を採用し、従来比で4倍の高速化を実現。

　3インチウエハーを15分で全面検査でき、さらなる高速化機能も開発中だ。