チノーは、電子部品や半導体製造装置などを手がけるメーカーをターゲットに据え、材料開発や製造工程で抱える幅広い課題の解決を後押ししている。培った計測・制御分野の技術力を生かし、今後も付加価値の高いソリューションの提案に力を入れていく。

　目玉となる展示は、ヒーターの劣化を診断するソリューション。電気炉内で使用されるヒーターの交換時期は外観や挙動からの判別が難しく、突然使用が不可になると、整備やメンテナンスに時間がかかるという課題があった。そこで、ヒーターの劣化を可視化し、交換時期への対策を支援する。

　具体的には、「サイリスタレギュレータ」と呼ぶ装置でヒーターに流れる電流を計測し、記録計に電気抵抗に関する情報を伝える。さらに記録計で抵抗を割り出し、しきい値を超過すると、警報などで交換時期を知らせるという仕組み。予防保全により設備の稼働率を維持でき、メンテナンス計画や部材の手配を効率化できる。一連の仕組みは、同社で全てそろえることが可能だ。

　200℃に耐えられる熱画像の計測装置「CPA-L25HT」も見どころ。電子基板の耐熱性能を調べる恒温槽での試験では、温度を測るために取り付けた熱電対が、試験中に外れてしまうリスクがある。サーモグラフィーを用いることで、この課題を解決できる。25～200℃の環境に耐えることも可能で、対象部位の測定温度は最大で300℃までカバーできる。解像度は320×240（7万6800画素）。車載向けなど高温環境での使用が見込まれる部品の試験に適している。

　同社は、積層セラミックコンデンサー（MLCC）の品質や生産効率を左右する焼成工程を支えようと、焼成炉向け「精密温度制御ソリューション」も手がけている。AI（人工知能）やデータセンターの普及を背景に需要が拡大するMLCCにも注目し、ソリューションで後押しする姿勢もアピールしていく。