2026.05.01 フェローテック、中国・合肥市で再生ウエハー事業の新工場着工式開催

着工式の様子

新工場完成予想図新工場完成予想図

　フェローテックは4月30日、再生ウエハー事業子会社の中国・富楽徳長江（合肥）半導体材料（安徽省合肥市）が、合肥市で再生ウエハー事業の新工場着工式を開催したと発表した。

　新工場（合肥工場）の所在地は、合肥市新站区。工場面積は約8万m²。操業開始時期は2027年12月を予定する。着工式は4月23日に行われ、フェローテックの賀賢漢社長をはじめ、多数の関係者が出席した。

　半導体製造工程では、設備の確認やテスト用に、ダミー・テストウエハーが使用される。その汚れを除去し、研磨加工することで、使用済みのウエハーを繰り返し使えるようにしたのが再生ウエハー。世界の半導体産業が成長を続ける中で、再生ウエハーは、半導体製造前工程プロセスにおいて大幅なコスト削減に役立つことから、重要性が増している。