2026.10.19 【半導体製造装置特集】High NA EUV　日米欧で研究拠点　

千歳市のEUV露光施設のイメージ（出所：産総研）

imec中心の開発体制に変化の兆し

　AI（人工知能）が稼働するデータセンターでは、演算を担うロジック半導体や情報を記憶するメモリー半導体で、高性能と優れた電力効率を備えた先端品の需要が高まっている。こうした半導体の製造に向け、オランダASMLの高開口数極端紫外線（High NA EUV）露光装置の...　　(つづく)