シンガポールのユニバーサル・ベイパー・ジェット社（Universal Vapor Jet Corporation＝UVJC）は、独自の蒸気ジェット印刷技術「UVJP」を採用した初の商用薄膜成膜システム「NovaJet」の受注を開始した。半導体製造向け装置としてだけでなく、医療・バイオやクリーンエネルギー分野への応用も見据える。その狙いと今後の展望について、チャンドラン・ナイールCEOに聞いた。

――NovaJetの開発で得られ...　　(つづく)