2020.10.02 鉛を含有せずゲイン2倍浜松ホトニクスがマイクロチャンネルプレート

浜松ホトニクスの鉛を含まない「ALD-MCP」

 浜松ホトニクスは、原子層堆積法(ALD)を応用した独自の成膜技術により、鉛を含有せず低ノイズで信号の増倍率(ゲイン)が高いマイクロチャンネルプレート(MCP)「ALD-MCP」を開発した。

 ALD(Atomic Layer Deposition)は薄膜形成技術の一つで、原子層一層ずつを成膜することで、膜厚や構造を緻密にコントロールできることから、半導体分野などで応用されている。

 質量分析装置や走査型電子...  (つづく)