2020.11.30 キヤノン解像力1.2マイクロメートルFPD露光装置

FPD露光装置「MPAsp-E903T」

中小型ディスプレイ製造に対応

　キヤノンは、第6世代ガラス基板サイズに対応したFPD（フラットパネルディスプレイ）露光装置の新製品として、さらなる高精細化が期待されている次世代の中小型ディスプレイ向けに解像力1.2マイクロメートル（L／S）を実現した「MPAsp-E903T」を11月下旬に発売した。

　ディ...　　(つづく)