2020.12.03 【新技術】NIMSと東京工大高品質な窒化ガリウム結晶の新成長技術を開発

［図1］基板に合金溶液を塗布する窒化ガリウム成長法のイメージ図

［図1］基板に合金溶液を塗布する窒化ガリウム成長法のイメージ図

＞
［図1］基板に合金溶液を塗布する窒化ガリウム成長法のイメージ図
［図2］フラックスを塗布しながら窒化ガリウムを成長させることで、表面凹凸が分子レベルの高さまで低減されたことを示す表面の顕微鏡観察結果
［図3］平坦に成長し、かつインクルージョンが結晶中に取り込まれていないことを示す結晶断面の顕微鏡観察結果

▶記事本文へ