2020.12.03 【新技術】NIMSと東京工大高品質な窒化ガリウム結晶の新成長技術を開発

［図1］基板に合金溶液を塗布する窒化ガリウム成長法のイメージ図

　NIMSは東京工業大学と共同で、次世代パワーデバイスとして期待される窒化ガリウムの結晶成長において、欠陥を大幅に減らして高品質な結晶を得ることのできる新たな技術を開発した。従来のような溶液中での成長ではなく、合金の液体を下地へ塗布して結晶成長させることで、不要な溶液成分が結晶中に残るという問題を解決した。EV用モーター制御ユニットなど次世代パワーデバイスとしての実用化が期待される。

　窒化ガリウム半導体は、シリコンよりも大電流...　　(つづく)