2020.12.28 高温に対応の静電容量型隔膜真空計堀場エステックが発売

高温対応静電容量型隔膜真空計「VGー500」

　堀場エステック（京都市南区、小石秀之社長）は、半導体市場向けに高温対応の静電容量型隔膜真空計「VG-500」を拡販する。希望税別価格は65万円。

　11日からのオンライン開催の「SEMICON Japan Virtual」で出品し、好評なことから販売を進める。

　センサー部温度調整範囲を100-200度に広げ、成膜プロセスで課題となっている蒸気圧が低い材料ガスの結露と熱分解をセンサー部の高温化で防いだ。同社...　　(つづく)