2020.12.30 ウシオグループが光学装置事業を強化

　ウシオ電機を中心としたウシオグループは、このほど高精度かつ多岐にわたるリソグラフィの需要増に対応するため、全自動ダイレクトイメージング（DI）露光装置の生産能力拡張と、マスク検査用EUV光源部品の生産体制構築を決定した。

　近年、5G実用化によるIoTの進展やスマートデバイスの進化、オンラインサービスやデータトラフィックの増加など、ICTインフラの需要が急伸しており、それに伴い半導体やプリント基板、パッケージ基板などの需要拡大...　　(つづく)