2021.03.01 韓国SKハイニックスが蘭ASMLと長期購入契約EUV露光装置、今後5年で4530億円
ASMLのEUV露光装置
【ソウル支局】韓国のSKハイニックスがオランダのASMLとEUV（極端紫外線）露光装置の長期購入契約を結んだ。今後5年で4兆7500億ウォン（約4530億円）を投じる。同社はDRAMの製造にEUVの適用を進める方針で、まずは今年下半期に10ナノメートルプロセスによる最先端製品の生産を目指す。
EUV露光技術は、13.5ナノメートルと非常に短い波長の極端紫外線を光源に用いるもので、従来のArFエキシマレーザー光を用いた露光技術... (つづく)
