2021.03.22 次世代半導体薬液のリアルタイム品質計測技術確立へトクヤマが台湾・ITRIと共同開発開始

　トクヤマは、台湾の工業技術研究院（ITRI）との間で、次世代半導体薬液のリアルタイム品質計測技術に関する共同開発を開始した。

　同社は、徳山製造所（山口県周南市）や台湾などで、半導体の製造工程で用いられる電子工業用高純度薬品（半導体薬液）を製造販売するアジアナンバーワンメーカー。18年には半導体産業の集積地である台湾に研究所を開設し、ITRIとの技術交流を進めてきた。

　今回の共同開発は、微細化が進む次世代...　　(つづく)