2021.04.02 リオン、半導体増産で微粒子計の需要増高精度測定ニーズ対応、世界的な増産基調を後押し

液中向け「KS-19F」

 半導体関連産業の活況に伴い、半導体製造工場で使用する微粒子計測器が好調だ。リオンの同事業の第3四半期は過去最高の売上高を更新した。世界的な増産基調を後押ししている。

 半導体製造現場で活用されている微粒子計測器は、薬液やクリーンルーム内の清浄度を測定する機器。配線幅が小さくなり、微細化が進むにつれて、より高い清浄度が求められている。

 リオンの半導体製造工場向け微粒子計測器で活用が多いのは液中向け「KS-1...  (つづく)