2021.04.16 感度を従来比10倍に向上パナソニックが遠赤外線センサーに最適な新技術

開発したフォノニック結晶が搭載された遠赤外線センサーのSEM観察像（a）：センサー全体の斜視観察像（b）：フォノニック結晶搭載部（支持脚部）の上面観察像

　パナソニックは、一般的なシリコン（Si）の断熱性能を示す物性値限界を大きく上回るフォノニック結晶構造（超微細ナノ周期構造）を、Siウエハー上に量産適用可能な作製方法で形成し、デバイス性能を飛躍的に向上させる技術を開発した。

　遠赤外線センサーの受光部に適用することで、受光部からの熱の漏れを約10分の1に抑制し、従来のSiベースの遠赤外線センサーに比べ約10倍の感度向上が可能になることを世界で初めて実証した。

　　(つづく)