2021.06.21 高品質β型酸化ガリウム100ミリメートルエピウエハーノベルクリスタルテクノロジー 開発に成功

　ノベルクリスタルテクノロジー（埼玉県狭山市）は、高品質β型酸化ガリウム100ミリメートルエピウエハーの開発に成功した。これにより、100ミリメートル量産ラインでの低損失酸化ガリウムパワーデバイスの量産が可能になった。

　同社は、タムラ製作所からのカーブアウトベンチャーで、今回の開発は新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）からの助成（戦略的省エネルギー技術革新プログラム、実証開発「β-Ga₂O₃ショットキーバリアダイオー...　　(つづく)