2021.06.29 マスクエッジ検査装置新製品レーザーテック、高品質化などに寄与
マスクエッジ検査装置「MZ100」
レーザーテックはこのほど、EUVおよびDUVフォトマスクのエッジ部における高感度検査、レビュー、計測を可能とするマスクエッジ検査装置「MZ100」を製品化した。
新製品は従来管理のなされていなかったマスクエッジ部のサイド面、ベベル部（端面）の欠陥検査や製造プロセス変動の管理を可能とすることで、フォトマスク製造プロセスの歩留まり向上や高品質化に寄与する。
同社のコア技術であるコンフォール光学系、先端フォト... (つづく)
