2021.07.09 【支える半導体製造】アジレント・テクノロジー 液中多元素を同時分析、ナノ評価で不純物混入リスク減
トリプル四重極「8900ICP-MS」
アジレント・テクノロジーの元素分析装置「ICP-MS」は、溶液中の不純物を測定する。高感度で多元素同時分析ができ、レジストや研磨剤、超純水中の不純物をppt（1兆分の1）レベル以下で評価。半導体業界で多く採用されている。
測定には、まず質量分析計で分離するため元素をイオン化。イオン源に誘導結合プラズマ（ICP）を用い、ICPに液体試料を霧状にして導入しプラズマでイオン化する。
Qポールと呼ばれる4本のフ... (つづく)
