2021.08.04 【支える半導体製造】日立ハイテク SEM連携で多角解析、ナノ3D計測の原子間力顕微鏡
原子間力顕微鏡「AFM100 Plus」
シリコンウエハーの凹凸は微細パターンの形成に影響するため、薄膜表面は高度な平坦性が求められる。最先端品の場合、ラフネス（粗さ）は0.1ナノメートル以下の管理が必要だ。
日立ハイテクが6月に発表した原子間力顕微鏡「AFM100シリーズ」は、カンチレバーに試料表面を走査するためのプローブ（探針）を取り付け、ナノレベルで形状観察や物性評価などの3次元計測が可能。面内と垂直方向で高分解能の評価ができる。
AFM... (つづく)
