2021.08.04 アンリツが組込み型波長掃引光源膜厚や形状を高精度で測定

アンリツの波長掃引光源

　アンリツは、組み込みタイプで小型のセンシング用光源として、1550ナノメートル帯波長掃引光源をこのほど発売した。

　波長掃引光源は波長を連続的に変化させたレーザー光を発生させる光源。産業用のOCT（光干渉断層計）装置や薄膜の膜厚計測装置に組み込んで使用できる。

　掃引周波数1.25キロヘルツの「AQA5500D」、150ヘルツの「AQB5500D」の2種を用意した。

　レーザー光のコヒー...　　(つづく)