2021.09.01 リガク、ウエハー分析装置増産中台半導体の積極投資に対応
VPDを組み込んだ全反射蛍光X線分析装置「TXRF-V310」
世界的に旺盛な半導体需要に対応し、リガクは10月から半導体向け分析装置の増産体制を整える。大阪工場（大阪府高槻市）で生産するウエハー表面の汚染物質を測定したり、ウエハーの膜厚や組成を評価する装置が、主に中国と台湾の設備投資意欲を受けて活況。例年比1.5倍の増産で対応する。
北浦二郎常務執行役員は「半導体向けのX線分析装置は大量に使われるものではなく、増産には慎重にならざるを得なかったが、グローバルな投資が継続すると判断し、増... (つづく)
