2021.12.20 荏原製作所 環境負荷を低減の湿式排ガス処理装置
湿式排ガス処理装置G－WS型
荏原製作所は、半導体製造プロセスにおける水溶性ガス処理を対象とした湿式排ガス処理装置G－WS型をこのほど発売した。
半導体製造工程における排ガス処理においては、さらにTCOを削減し、環境負荷の低い処理装置が求められている。このような市場の要求に応えるため、同社は、水溶性ガスを使用するプロセスに最適化された湿式排ガス処理装置G－WS型を新たに投入した。
生成物をガス流路に固着させない・滞留させない同社独自... (つづく)
