2022.01.13 影響最小限、生産を再開蘭ASMLベルリン工場火災の初期検証
半導体露光装置世界最大手、オランダASMLは7日、3日に独ベルリンの部品工場で発生した火災に関する初期検証の結果を公表した。
火災は同工場敷地内にある3階建て製造棟の2階部分で発生。製造棟延べ床面積約3万2000平方メートルのうち、約200平方メートルが影響を受けた。
発生時間は明らかになっていないが、火は夜のうちに消し止められ、けが人もなかった。隣接する建屋の一部が煙の影響を受けたものの、既に生産を再... (つづく)
