2022.01.21 MMCがMEMSファウンドリー事業拡大3軸触覚センサーなど試作受託
MNOICに導入されているMEMS製造装置の例（シリコン酸化膜ドライエッチング装置）
マイクロマシンセンター（MMC、理事長＝山中康司デンソー代表取締役副社長）は、MEMS（微小電気機械システム）産業振興の一環として運営しているマイクロナノ・オープンイノベーションセンター（MNOIC）のファウンドリー事業が順調に拡大している。
MEMSは、半導体製造技術やレーザー加工技術、微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサー、アクチュエーターなどのデバイス／システム。
... (つづく)
