2022.02.24 高選択エッチング装置 米ラムリサーチが韓国サムスンに供給
PrevosとSelisを統合したツール（提供＝ラムリサーチ）
3次元デバイスの開発 加速
半導体デバイスのさらなる高性能化、高効率化に向け、半導体メーカーはトランジスタを垂直に積層する技術の開発を進めている。
例えば韓国のサムスン電子は、従来のFinFETに代わるGAA（ゲートオールアラウンド）と呼ぶ新しいトランジスタ構造を適用し、2022年上半期に3ナノメートルロジックデバイスの生産... (つづく)
