2022.02.24 高選択エッチング装置 米ラムリサーチが韓国サムスンに供給

PrevosとSelisを統合したツール（提供＝ラムリサーチ）

3次元デバイスの開発 加速

　半導体デバイスのさらなる高性能化、高効率化に向け、半導体メーカーはトランジスタを垂直に積層する技術の開発を進めている。

　例えば韓国のサムスン電子は、従来のFinFETに代わるGAA（ゲートオールアラウンド）と呼ぶ新しいトランジスタ構造を適用し、2022年上半期に3ナノメートルロジックデバイスの生産...　　(つづく)