東レエンジニアリンググループで、半導体向け検査機器の開発を手掛けるタスミット（TASMIT）は、3次元NAND型フラッシュメモリーの多層化に対応した電子線式半導体ウエハーパターン検査装置を発売した。

　「NGR5500」は最大加速電圧が従来比10倍の50kVに向上し、150層を超える多層の検査計測を高精度で行うことが可能になった。同社によれば世界で初めての技術。

　電子ビームをウエハー面内に垂直で入射させる制御技術により、広い視野でひずみの少ない画像を取得できる。
マスクに描画されたパターンと設計データを照合する「ダイツーデータベース」を活用し、設計上の問題を迅速に把握することが可能だ。

　初年度販売目標は50億円。25年度に70億円を目指す。

　同社は4月、「東レエンジニアリング先端半導体MIテクノロジー」に社名変更する。