2022.05.18 ウシオ電機が照度計、多用途で光量管理半導体レジスト硬化を評価
「UIT-250」
ウシオ電機は、紫外線（UV）領域の波長を中心対象とした光量計や、照度計などの光測定器が半導体、液晶などのエレクトロニクス製品の検査用として幅広く浸透している。
光測定器は、半導体製造の露光プロセスで感光材（レジスト）にUVを照射して硬化させるのに十分な光量となっているか評価する。液晶パネルのUV硬化や、自動車の電子制御ユニット（ECU）のUV接着時の光量管理などでも使われている。最も多く活用されているのが紫外線積算光量計「U... (つづく)
