2022.07.18 【やさしい業界知識】分析機器半導体製造管理に不可欠、純水・薬液計測しウエハー評価
半導体製造の各プロセスで使われる分析機器
分析機器は、物質の性質や組成、構造を定性的・定量的に測定する装置として産業用途だけでなく、実験・研究、環境分野など幅広く活用されている。
半導体製造プロセスでも、さまざまな分析機器が導入されている。
半導体工場では、異物が極めて少ない純水や薬液を大量に使用。特にウエハーの洗浄や薬品の洗い流し、フッ化水素（フッ酸）など薬液の希釈や濃度調整、装置冷却などプロセスの各所で純水は大量に使われる。
... (つづく)
