2022.09.23 アルバックがDC電源のアップグレードパッケージ販売

成膜用の新型デジタルDC電源

 アルバックは、今年5月に発売した成膜用新型デジタルDC電源「DC-D」「DC-20-D」に追加搭載できるアップグレードパッケージ4製品の販売を9月から開始する。

 「High performance RAMP」は、放電前の出力(イグニッション動作)を制御することで、放電開始時の急激な出力変化を抑制し、放電直後から安定した状態を得られる。

 「High control accuracy」は、設定に対する高精度...  (つづく)