2022.10.31 三菱など4法人が次世代の半導体向け極微細レーザー穴あけ加工技術開発　穴径6マイクロメートル以下を高品質に

ABFに高速スキャンで6マイクロメートルの穴をあけたものを電子顕微鏡写真で撮影

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