2022.12.14 【セミコンジャパン2022特集】新コスモス電機 半導体材料ガス検知器など多数

半導体材料ガス検知器「XPS-7Ⅱ」

 新コスモス電機は、ロングセラー商品の半導体材料ガス検知器「XPS-7Ⅱ」をはじめとする各種のガス検知器、ガス警報器を出展する。

 半導体材料ガス検知器XPS-7Ⅱは、ガスセンサーがユニット式でユーザーの手元で交換が可能なポータブルタイプ。オプションのセンサー専用通電台「EC-7」を使えば、常に複数のガスセンサーを通電しておくことができ、すぐに使用できるため、さまざまな工程の異なるガス種の検知が1台で可能。ガス種に応じたガス検知器を複数保有する必要がなく、イニシャルコストを削減できる。

 また、交換用センサーユニットは校正済みの状態で顧客に提供するため、機器を返却してのメンテナンスが不要。ランニングコストも大幅にカットできる。半導体製造工程でクリーニング剤、ドライエッチング剤として幅広く使用されるNF3検知に対応。NF3検知対応のポータブルタイプのガス検知器では、世界最小サイズ。

 そのほか、定置式ガス検知部に接続して、ガス検知部の配線を無線化するガス検知部用LoRaWAN無線変換器「WC-7L」や、半導体製造工場で使用する不活性ガスによる酸欠防止のための各種酸素計、事務所や会議室などの3密対策に役立つCO2計など、半導体製造工場の安全管理に役立つ幅広い商品を展示する。